Техника - молодёжи 2010-06, страница 11
батываючся и серийно производятся исследовательские приборы для нанотех-нологий, которые охотно приобретают ведущие научные центры по всему миру. Ключом к успеху оказался комплексный подход к изучению наноструктур, «В конце прошлого года мы оборудовали уникальный наноцентр в Курчатовском институте, — рассказывает Виктор Быков, генеральный директор и основатель НТ-МДТ. — Основу центра составил комплекс на платформе НаноФаб 100, интегрированный с каналом вывода си нхро тронного излучения. НаноФаб 100 - это множество технологических модулей для формирования, обработки и анализа наноразмерных структур, собранные в единую автоматизированную систему». Теперь у исследователей есть возможность вырастить некую структуру одним из методов молекулярной самосборки (например, в камере для роста эпитак-свальных структур), модифицировать сё методами нанолокального воздействия (например, придать необходимую форму с помощью фокусированного ионного пучка, причём проделывать это можно при одновременном наблюдении с использованием колонны электронного микроскопа), а затем изучить её характеристики в модуле сканирующей зон до вой микроскопии. Вместе с источником синхротрон но го излучения получается полный набор того, что вообще может понадобиться учёному. Важно, что образец всё время находится в условиях высокого или сверхвысокого вакуума, а специальные технические решения обеспечивают точное его репозиционирование ври транспортировке и;) модуля в модуль -каждый новый инструмент попадает точно в то же место па образце, с которым работали в предыдущем модуле. Принцип интеграции различных методических подходов в единой системе отлично работает и при создании относительно компактных исследовательских приборов. Например, в Минске работает совместное белорусско-японское научное предприятие «Сблар ТИИ». Минск - это не Россия, но научная in кола всё та же, советская. В своё время японцы заинтересовались нашими технологиями и наработками в области спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). С их инвестициями были разработаны спектрометры КР, недорогие, с отличными характеристиками, весьма конкурентные на мировом рынке. Сегодня сочетание минских спектрометров и зеленоградских сканирующих зондовых микроскопов позволило создать совершенно уникальную исследовательскую систему. Этот прибор ис-полмуст эффекты нелинейной оптики и, благодаря этому, обходит прннципи-алыгысфизическиеограничения, например предел дифракции, лимитирующий пространственное разрешение оптических методов спектроскопии. Интеграция двух подходов - спектроскопии КР и сканирующей зондовой микроскопии -дала возможность получать информацию о химическом составе поверхностного слоя с разрешением до 50 нанометров! Другой пример. В московском Институте физической оптики с помощью патентованной технологии (так называемая «линза Кумахова») научились фокусировать рентгеновские лучи в очень узкое пятно - до сих пор никто в мире делать этого не умел. Так стало возможным проводить реитгенофлуо-ресцентный анализ микроскопических областей на образце, А в результате интеграции компактной микрорентгено- флуореецеитной установки с СЗМ появился ещё один уникальный прибор. Он позволяет исследовать рельеф поверхности и одновременно даёт информацию об элементном составе выбранного микроучастка образца. Можно констатировать, что отечественное оборудование для нанотехноло-гичсских исследований занимает прочные позиции в ряду самых передовых в мире. * * $ [ [онятно, что толпы галактических на-нороботов, уничтожающих всё на своем пути, или, если хотите, облака вредоносной «разумной» нанопыли, - это не более чем сюжеты для околонаучной фантастики, Однако самосборка наноразмерных структур существует, это важное и чрезвычайно перспективное направление развития нанотехнологий. Пока что мы находимся на том уровне знаний и умений, когда каждый создаваемый напообъект приходится тщательно исследовать, и при этом необходимо контролировать все внешние условия, чтобы полученный продукт можно было бы использовать в практических целях. Это только самое начало пути, и тем приятнее осознавать, что отечественная наука и отечественные технологии находятся в авангарде этого движения. Мы взяли хороший темп на старте и, будем надеят ься, нам удастся сохранить лидерство и в дальнейшем, Ш Ирина ГРАНКИНА Модуль фокусированных ионных пучков с системой газовых инжекторов (ФИП ГНС) платформы НаноФаб 100 предназначен для анализа и созданиянанос труктур наповерхнос-ти кремниевых подложек диаметром 100 мм. Под воздействием пучка ионов молекулы газа распадаются, и продукты распада встраиваются в наноструктуры с очень высокой пространственной локализацией. За процессом можно наблюдать в режиме реального времени с помощью колонны сканирующего электронного микроскопа |
