Юный техник 1961-11, страница 34

*Y40K ЭЛЕКТРОНОВ

КРИСТАЛЛ МЕДИ

Электронный луч в телевизоре в течение секунды много раз обегает экран, рисуя изображение. А что произойдет, если мы направим луч в одно место экрана и увеличим мощность луча? Теперь одни и те же атомы' получают много энергии от ударяющихся о них электронов. Атомы экрана колеблются все сильнее и сильнее и, наконец, срываются со своих мест в решетке кристалла и улетают прочь. Материал испаряется. В результате экран окажется прожженным насквозь.

Электронным лучом можно нагревать металл, плавить, резать, свяоивать (см. ЮТ №6 за 1959 год), испарять. Посмотрим, как с помощью электронного луча получают тонкие пленки из любого вещества: металла, диэлектриков, полупроводников.

Электронная пушка устанавливается в камере, из которой выкачивается воздух. Иначе летящие электроны будут ударяться о молекулы воздуха и терять свою энергию. Кроме того, в воздухе нельзя получить чистую пленку и очень быстро сгорает катод пушки

На специальный столик в вакуум-камере (см. вкладку I) устанавливается тигель с исходным материалом. На него направляется поток электронов. Электроны выбивают атомы, и испаряющееся вещество тонким слоем покрывает поверхность детали. Таким образом можно получать тонкие пленки из металлов: алюминия, меди, никеля, вольфрама, молибдена, тантала, полупроводников, например сернистого кадмия и окиси свинца, и даже диэлектриков — стекла. Можно получать пленки толщиной от сотых долей микрона до одной десятой миллиметра.

Вся эта работа проводится в лаборатории доктора технических наук П. И. Ощепкова под руководством кандидата технических наук В. К. Перевер-зева.

Нанесение тонких покрытий методом испарения и конденсации в вакууме важно для различных отраслей новой техники, атомной энергетики, ракетостроения и особенно для полупроводниковой электроники. Таким методом можно получать жаропрочные покрытия и микрорадиоаппаратуру: сопротивления , конденсаторы, пленочные диоды и транзисторы, тригерные ячейки счетно-решающих устройств и двоичных счетчиков. Этот метод вместе с рядом других составляет новую область, получившую название «микрометаллургия». На цветной вкладке изображено то, что видит человек, заглянувший в вакуумную камеру

В. ЛИШЕВСКИЙ

32