Техника - молодёжи 1966-03, страница 39
ДЕЙСТВУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОН ион «РОТОН ИНИАТЮР (Научно-музыкальная шутка) Рис. Ю. Макаренко лее. следовательно, при тех же анергиях длина волны де Бройля во столько же раз короче и приближается к размерам атомного ядра. А для более тяжелых ионов дифракция вообще становится фикцией. Одним врагом меньше! Выходит, электроны и ионы не экзотика, а спасенне. Вот теперь самое время продемонстрировать творческий диапазон наших героев на мнкроэлектронной сцене. Ottrr*-- УН1 Жу 'г* >УУ ПРЕЗИДЕНТ ИЛИ СЫЩИК? (Выходная ария главного героя) Bj ы видим ничтожно малый интервал ""электромагнитных воли — от красного до фиолетового, — и все. Что касается всего остального, то тут нужны специальные приборы. Для каждого интервала длии воли свой, специфический датчик или спектрометр. Тривиального пенсне не получится. А вот прибор, позволяющий «видеть» предмет одновременно в разных видах излучения, существует. Это растровый рентгеновский микроанализатор... При соударении с мишенью электроны высоких энергий вызывают мощный поток излучений. В микроанализаторе рентгеновское излучение, прежде чем поглотиться в металле и в просвннцоваином стекле, анализируется спектрометрами, каждому элементу соответствует определенная длина волны вторичного излучения. Сигнал со спектрометра поступает на вкраи телевизора, луч которого синхронизирован с лучом анализатора. На экране мы видим картину распределения элементов по поверхности образца. Более того, мы можем провести точный химический анализ в любой его точке. Умный анализатор регистрирует также вторичные, отраженные электроны, инфракрасные излучения и т. д. -я т. п. Каждый вид излучения дает свое, отлич-^ иое от других изображение, внося лепту в Полное познание исследуемого объекта. Итак, электронный луч выступил еще раз в новом амплуа. Он явился перед нами в роли детектива. Кто же он: президент общества обрабатывающих частиц или сыщик? Профили, казалось бы, взаимоисключающие. К счастью, одно другому ие только не противоречит, но более того, возможно в одном устройстве. Растровый микроаиализатор сравнительно легко вписывается в обрабатывающую установку. Стоит изменить режим луча — уменьшить ток и свести диаметр пучка до размера в несколько сот ангстрем, — н луч быстро проанализирует все, что он натворил перед втим, когда был помощнее и работал иа всю отклоняющую катушку. Пусть информация о только что проделанной работе поступает не на экраны телевизора, а в вычислительную машину, которая способна сравнить содеянное лучом с эталоном и должным образом реагировать на всякие ошибки и недоразумения. Электронный луч, действуя как придирчивый мастер ОТК, пожалуй, впервые за всю историю производства микросхем откроет перед нами радужные перспективы непрерывного контроля и, стало быть, полной автоматизации процесса. ИОННАЯ ПОСЕВНАЯ (Хвалебный гимн) Еще иедавио грядущее ионного луча было не только пусто, но и темно. Более того, его качества приносили сплошные огорчения. Иои с внергией 50 кэв выбивает из мишени ие менее десятка себе подобных. Естественно, такого бесцеремонного обращения не выдерживал ни одни прибор, использующий ионные лучи. Но нет худа без добра. Ведь именно здесь кроется идеальный метод очистки поверхности. Травление любой кислотой, даже если иа ярлыке написано «Особо чистая», никогда не приведет к получению идеальной поверхности. Кислота не бывает без примесей, как солнце — без пятеи. А чем чище поверхность, тем притягательней оиа для грязи. Примеси в кислоте ограничивают возможную степень очистки, сколько бы ии растравливалась поверхность. Иная картина при травлении ионным лучом. Предельная, «масс-спектраль-ная», чистота ионов определенного элемента, вырезанных из общего спектра, делает в условиях высокого вакуума практически невозможным загрязнение поверхности посторонними примесями. Кроме того, поскольку ионы проникают достаточно глубоко, можно осуществить поверхностное легирование полупроводников. Брошенные уверенной рукой в благодатную полупроводниковую почву, ионы мгновенно прорастают замечательным букетом новых электрофизических свойств. Если ионы внедрять локально, так сказать, квадратно-гнездовым способом, открывается качественно новый путь создания миниатюрных диодных структур. ПОЛНЫЙ СВЕТ! (Фантазия до минор в цветовой тональности 0,6943 \л) Опять оказалось, что во всем виноват Эйнштейн. Однажды во вторник он предсказал явление стимулированного излучения, а черев 43 года появились первые квантовые генераторы — лазеры. Физики поработали иа славу. Это отмечено соответствующими премиями. Теперь настала пора технического использования идей лазерного луча. И тут дело обстоит ие столь великолепно! Параметры лазерного луча нестабильны, точная фокусировка эатруднеиа, автоматизация процесса — деАО_ ДаАе" ко ие простое. Первоначальный бум улегся. Инженеры начали чесать затылки. И призадумались. А стоит ли? Вместо ответа предложим читателю три коротких примера. bT-^.-v /V |{i1 \ |
