Техника - молодёжи 1988-08, страница 6

будет потом перенесен на фоторезист. Этот процесс, разумеется, тоже идет под управлением ЭВМ.

Литография — самая ответственная стадия микроэлектронной технологии От ее точности и тщательности зависит работоспособность будущей микросхемы. Операцию проводят на установках, по существу не отличающихся от обычных фотоувеличителей — свет ртутной лампы проходит через шаблон и засвечивав фоторезист. Следующий этап — проявление. С поверхности пластины, в зависимости от того, какой фоторезист использовался — позитивный или негативный, удаляются засвеченные или незасвечен-ные участки лака. Защитный слой окиси кремния с оголившихся участков пластины снимают травлением. Затем идет легирование — в нужных местах в кристалл вносятся примеси, они-то и определяют его электрические свойства. Раньше для этого прибегали к химическим методам. Теперь же все чаще используют ионную имплантацию — прямое введение ионов в кристалл бомбардировкой ускоренным пучком.

Изготовление одного слоя чипа на этом завершается. Но микросхе

ма — это «сандвич» из 10—15 слоев. Поэтому после легирования кремниевая пластинка раз за разом возвращается назад и снова проходит описанную выше технологическую цепочку: покрывается защитными пленками окисла и фоторезиста, засвечивается через шаблоны, травится, легируется. Так этаж за этажом выстраивается крошечный кристаллик сложнейшей структуры — электронные нейроны будущего компьютера.

Однако формирование чипа еще не совсем закончено. Напоследок его металлизируют алюминием, который испаряется в вакууме при температуре около 800° С. В специальной камере металл микронным слоем оседает на кремниевой пластинке. Такие участки служат и защитным покрытием, и контактными площадками, к которым потом подключат электрические выводы. Работоспособность каждого чипа проверяется — контрольные сигналы подаются по тонким щупам. Теперь пластину можно разрезать на отдельные чипы и, установив в корпус, присоединить тончайшими золотыми проводниками контактные площадки на кристалле к дорожкам на держателе.

И вот готовая интегральная микросхема у нас в руках. Можно монтировать ее на плате компьютера в корпусе видеомагнитофона или под крышкой электронных часов.

ЗДЕСЬ И СЕЙЧАС

Производство интегральных микросхем, безусловно, одна из сложнейших современных технологий. Скоро этот процесс станет, по всей видимости, и самым массовым. Еже-

Такой долгий путь проходит горстка песчинок, прежде чем стать деталью компьютера.

годно выпускаются миллиарды чипов, между тем рынок не только не насыщается, но напротив, растет: микросхемы находят все HOBjie применения.

Толчком к этому стало в какой-то мере создание микропроцессора — уместившегося на одном кристаллике компьютера с собственной оперативной памятью для вычислений и постоянной памятью для хранения программ. Придя на смену дорогостоящим суперЭВМ, эти электронные крохи ценой в несколько десятков долларов позволили создать рас пределенные вычислительные сети и обрабатывать информацию по прин-