Техника - молодёжи 1988-08, страница 7

ЧИСТОТА — ЗАЛОГ ЗДОРОВЬЯ чипов

Некоторые технологические операции изображены на схеме на голубом фоне. Дело в том, что они проводятся в так называемых чистых комнатах — помещениях с ничтожно малым содержанием аэрозольных капель, пылинок, примесей (см. «ТМ» № 5 за 1988 г.). Воздух подается в них через многоступенчатую систему фильтров, самые тонкие из которых способны задержать до 99,9995% пылинок размером больше 0,1 мкм. Приведенная цифра — пока рекордная, но, несомненно, это не предел. Количество частиц в кубометре воздуха измеряется таким образом десятками или сотнями, а не миллиардами, как, скажем, в обычном жилом или производственном помещении. Стены и мебель чистых комнат облицованы сверхгладкими материалами: они легко чистятся, не истираются и не удерживают на себе пыли. Вода не просто дистиллируется, но и деионизируется. Тщательно очищаются и все используемые химические растворы. Посторонним в чистые комнаты вход заказан, сами работники попадают сюда только через шлюз, надев специальные скафандры из непылящей, не теряющей ворсинок материи и постояв под струями воздушного душа.

К чему такие строгости? С микроэлектронного конвейера должны схо

дить работоспособные чипы. Попавшая же в фоторезист пылинка испортит рисунок на кристалле, бактерия, осевшая на кремний из нефильтрованной воды, может замкнуть соседние токопрово-дящие дорожки, а соринка на шаблоне неминуемо отправит в брак целую партию пластин. Чем сложней и миниатюрней микросхемы, тем следует тщательней заботиться о чистоте на производстве.

На какие только ухищрения не идут, чтобы избавиться от вездесущей пыли! Стараются ограничиться минимумом механически движущихся устройств, гасят вибрацию, упруго подвешивая вентиляционные системы, отводят поток автомобилей подальше от завода, косят цветущие весной и летом растения по соседству. На некоторых предприятиях есть уже и так называемые ламинарные комнаты. Воздух в них плавно течет от потолка к полу и не образует вихрей, отрывающих от поверхностей случайно попавшие на них соринки. В борьбе с пылью не может быть мелочей — не случайно английские электронные компании предпочитают строить заводы в Шотландии, славящейся чистым горным воздухом.

Тем не менее основным источником загрязнения остается сам человек, даже скафандры не спасают. На некоторых предприятиях операторам, а это в основном женщины, запрещают пользоваться на работе духами и косметикой. Если какую-либо операцию трудно

В чистой комнате.

выполнять в перчатках, их снимают, но руки тогда смазывают особым клеящим кремом. Все записи ведутся специальными ручками на особой бумаге. Иногда в цехах можно видеть плакаты-предостережения, например: «Избегайте лишних движений». Как видите, работа на микроэлектронных заводах не из легких.

Радикальное решение проблемы чистоты — вовсе отстранить человека от контакта с будущими чипами, поставив на его место роботов.

ципу «здесь и сейчас». Это умножило возможности вычислительной техники, она проникла в самые неожиданные области человеческой деятельности.

Вот несколько примеров из повседневной жизни.

В последних моделях автомобилей микропроцессоры следят за работой карбюратора и системы зажигания, сигнализируют о неполадках в узлах, помогают водителю выбрать оптимальный маршрут. Крошечные ЭВМ управляют стиральными, швейными и посудомоечными машинами, регулируют отопление и экономят электроэнергию, гася свет в

комнатах, из которых люди вышли. Если вы надолго уезжаете из дому и хотите уберечься от квартирных воров, микропроцессоры будут время от времени включать и выключать в разных комнатах свет и радиотехнику, имитируя присутствие хозяев. Без микроскопических электронных устройств не было бы программируемых видеомагнитофонов и автоматически включающихся в нужный момент телевизоров, телефона-сек-ретаря, записывающего в ваше отсутствие голоса звонивших, и часов, заранее напоминающих владельцу о важной встрече, наконец, грамотных машинок, печатающих под диктовку