Техника - молодёжи 1983-10, страница 65

ВЕХИ НТР

(при ускоряющих напряжениях около 100 кВ толщина такого образца составляет менее 0,1 мкм).

На этом явлении основана так называемая просвечивающая

электронная микроскопия. Здесь пронизавшие образцы электроны попадают непосредственно на люминесцентный экран, формируя сразу все изображение. Просвечивающий электронный микроскоп позволяет увидеть мельчайшие примесные включения объекта, определить форму, размеры и ориентацию его отдельных частиц, а также кристаллографические дефекты (отклонения в порядке расположения атомов в кристаллической решетке). Оказалось, что в этом приборе можно разглядеть даже атомы! Сотрудникам Института кристаллографии АН СССР профессору В. Н. Рожанскому и кандидату физико-математиче

ских наук Н. Д. Захарову, например. удалось методом электронной

Снимок на просвет сложного силиката, полученный В. Н. Рожанским и Н. Д. Захаровым.

микроскопии высокого разрешения получить изображение отдельных тяжелых атомов в кристаллической решетке сложного натрий-кобальтового ленточно-цепочечно-го силиката. На сделанном ими электронномикроскопическом снимке можно отчетливо увидеть, как происходит смена «лент» с двумя цепочками атомов трехрядными «лентами».

Размеры небольшой статьи не позволяют описать множество дополнительных приставок для непосредственных температурных, механических и иных воздействий

Современный электронный микроскоп — это настоящая физико-хи-мическая лаборатория. Цифрами обозначены: 1 — первичный пучок электронов, 2 — отклоняющие катушки, 3 — детектор отраженных элен-тронов, А — детектор вторичных электронов, 5 — детектор натодолЮ-минесцентного излучения, 6 — детектор тока через образцы (поглощенные электроны), 7 — детентор прошедших рассеянных электронов, 8 — детентор прямо прошедших электронов, 9 — фоторегистрация дифракционной картины, 10 — образец, 11 — детектор оже-электронов, 12 — детектор рентгеновского излучения, 13 — спектрометр потери энергии электронов.

на исследуемый материал в камере микроскопа. Хочу лишь отметить, что современный просвечивающий электронный микроскоп все чаще объединяется со своим более молодым «родственником», работающим по принципу сканирования электронным микрозондом. Последний — это остро сфокусированный пучок электронов, который как бы «ощупывает», зондирует отдельные точки поверхности образца. Для полного исследования выбранного участка зонд двигается под действием отклоняющих катушек (принцип телевизионной развертки). Такое постепенное обследование объекта называется сканированием (считыванием), а узор, по которому движется зонд, — растром. Отсюда и название приборов — растровые. К ним относится и растровый электронный микроскоп — РЭМ. Изображение здесь получается на экране выносного телевизора, электронный луч которого движется синхронно с зондом. Яркость луча в телевизоре управляется сигналом от детектора, регистрирующего какой-либо эффект (электронный или фотонный) взаимодействия микрозонда с образцом. Таким способом (южно получить изображение в любом режиме. Чем сильнее сигнал от какой-либо точки образца, тем сильнее светится соответствующая точка на экране телевизора. Регистрация каждого из эффектов взаимодействия первичных электронов с образцом осуществляется различными детекторами. Разрешающая способность РЭМ в первую очередь определяется размером зонда, но зависит

элек/т/ронно - оптичесная систеш микроскопа

Поверхность окисленных частиц медного порошка (наличие игл, бугорков, трещин объясняет причину разной химической активности таких частиц).

также от регистрируемого эффекта взаимодействия. Наилучшее его разрешение обеспечивают вторичные электроны (выбитые из атомов образца первичными электронами). Однако одно из главных достоинств РЭМ в этом режиме работы заключается не в высокой разрешающей способно-

Растровая микрофотография гальванического серебряного покрытия (негладкий рельеф свидетельствует о плохом качестве покрытия).