Техника - молодёжи 1988-05, страница 29

пластина зеркалом служить уже не может. Она покрывается множеством мельчайших язвочек, это хорошо видно на черно-белой фотографии. Тра-витель проникает в любую щелку, то бишь свирл. Кремний растворяется, дефект усугубляется, увеличивается ■ тысячи раз и становится доступен для наблюдения. Такая «сыпь» располагается по пластине неравномерно. Она напоминает годовые кольца на срезе дерева.

Итак, на кремниевой пластинке, прошедшей химический тест, появилось множество точек. Нечего и надеяться, что из таких заготовок удастся сделать что-нибудь путное. Всю партию бракуют.

Но прошло время, и требования к качеству кремниевых пластин выросли

ние перестало удовлетворять придирчивых заказчиков, раз за разом выяснялось, что брак получается именно из-за невыявленных микродефектов. Значит, просто-напросто старый метод контроля качества недостаточно чувст-

надо искать новый, более совершен-

Группе московских физиков-электронщиков, включая автора этих строк, удалось обнаружить явление, которое позволит контролировать кремниевые пластины на качественно новом уровне. Быстро нагревая пластины — для этого использовались газоразрядные лампы,— мы получили на поверхности даже бессвирловой заготовки характерные точки. Поместив «засвеченный» таким образом образец под микроскоп, можно было увидеть фантастическую картину.

Природу явления удалось разгадать. При импульсном световом отжиге (нагревании мощными газоразрядными лампами) кремниевая пластинка нагревается до +1412°С и плавится. Процесс начинается не на ровной поверхности, а там, где есть микродефекты. Как только расплавленные капли достигают ощутимого размера, свет гасят. Расплав кристаллизуется в причудливые симметричные формы — это видно на цветных снимках, сделанных при увеличении примерно в 100 раз. Как видим, фантазия кристалликов кремния вполне может соперни-

Такими дефектами и впрямь можно залюбоваться. Уверены, не оставит такая красота равнодушными и микроэлектронщиков. Новый метод со временем снизит кремниевый брак.