Юный техник 1977-10, страница 47

зовали лазер, который дает узкий нерасходящийся пучок. Этот пучок света попадает в поляризатор. Поляризованный свет падает на тонкую пленку и, отражаясь от нее, становится эллиптически поляризованным. Четвертьволновая пластинка-компенсатор, повернутая в определенное положение при помощи микрометрического винта, вновь превращает эллиптически-поляризованный луч в линейно-поляризованный Он попадает в анализатор. Поворотом анализатора вокруг оси при помощи такого же микрометрического винта, как и в предыдущем случае, можно добиться такого положения компенсатора и поляризатора, что в индикатор не попадет йи один квант света. Сняв в этот момент показания отсчетных устройств, по формулам и номограммам производят расчет параметров пленки.

— Некоторые модели созданных нами эллипсометров, — сказал в заключение своего рассказа К. К. Свиташев, — .все эти операции производят автоматически, а имеющиеся в их составе счетно-решающие устройства сразу производят необходимые вычисления и выдают уже готовые результаты. Так что, как видите, операцию контроля нам удалось упростить до минимума...

Нельзя сказать, чтобы путь Константина Константиновича и его коллег от первого шага до первых результатов был гладок. В науке вообще ведь не бывает накатанных дорог, а тропы ее достаточно тернисты. «Если вам везет — продолжайте! Если вам не везет — все равно продолжайте!» — говорил известный полярный исследователь X. Свердруп, и его слова -можно поставить эпиграфом этой работы, выдвинутой на соискание Государственной премии СССР. Более десяти лет новосибирцы работали, что 'называется, не покладая рук. Десятки тысяч измерений, обоб

щающие их научные идеи, исследования поведения эллипса при отражении от самых различных пленок, бессонные ночи и редкие счастливые озарения — все это и позволило создать первый, собственноручно собранный и отлаженный прибор.

ИСТОРИЯ ПРОДОЛЖАЕТСЯ

Сегодня исследователи по-прежнему в поиске. Они все улучшают свое детище, для него появляются все новые и новые сферы применения. Эллипсомет-рами оказалось удобно контролировать процессы испарения в физике и свертывание крови в медицине. Положение осей эллипса очень чувствительно к состоянию пространства, через которое проходит луч света, поэтому при помощи эллипсометров можно точно оценить прозрачность воздуха, чистоту воды...

^Приборы, предназначенные для узких целей полупроводниковой техники, оказались необходимы людям очень многих специальностей. Видно, верно говорит старая английская пословица: «Хорошая вещь всюду нужна». Совершенно не случайно советские эллипсо-метры и эллипсометрические лазерные микроскопы с успехом экспонировались на многих отечественных и международных выставках, удостоены двух золотых медалей Лейпцигской ярмарки, многих медалей ВДНХ, широко используются в работе учеными многих стран.

С. ЗИГУНЕНКО, инженер

45