Юный техник 1977-10, страница 44

«ПИРОЖКИ» ИЗ ПЛЕНКИ

Первые электронные вычислительные машины размещались в огромных залах. Сегодня ЭВМ можно унести в кармане. Такая трансформация стала возможна благодаря интегральным схемам, пришедшим на смену лампам и транзисторам. Каждая схема как бы «слоеный пирожок» из тончайших пленок окиси кремния, золота, синтетических смол... Дз-же сложенные все вместе, эти пленки не толще паутинки. Их так и называют — тонкие пленки.

Прежде чем научились печь «пирожки» из тонких пленок (а их действительно спекают в ваккумных печах), культуру производства пришлось поднять до такой немыслимой ранее высоты, перед которой меркнет даже стерильная чистота хирургической операционной.

Получив разрешение посмотреть, как происходит сборка этих сверхстерилизованных приборов, прежде чем отправиться в цех, вам, вероятнее всего, сначала придется посетить... парикмахерскую и подстричь длинные волосы, потом тщательно отмыть руки мылом, пемзой и наконец спиртом. Вас обуют в туфли из нейлона, наденут нейлоновый халат и шапочку, пропустят через воздушные камеры, где с вас будут сдуты последние пылинки, и только тогда вы попадете в цех из стекла и мрамора — материалов, к которым пыль пристает меньше всего. Но та идеальная для производства чистота еще не здесь, она поддерживается внутри «скафандров» технологиче-

ЭЛЛИПС- '

МЕРА КАЧЕСТВА

ских линий. С внутренней стороны стенок этих линий свисают длинные резиновые перчатки. Вы можете всунуть в перчатку руку, и лишь тогда специальной присоской будет позволено взять кристаллик будущей интегральной схемы.

Но... даже эти сверхтщательные предосторожности не спасают от брака.

Тонкие пленки — большие неженки, они невзначай могут быть повреждены во время одной из ^ очередных технологических операций.

Поэтому после каждой операции элементы будущих ЭВМ подвергают контролю. Но как, каким мерительным инструментом оценить их качество? Сегодня самый распространенный вид не-разрушающего контроля сверхсовременных изделий... древний, как мир, визуальный, а попросту говоря, осмотр изделия с помощью лупы или микроскопа.

В технологии производства по- ^ лупроводниковых приборов и интегральных схем применяют до 100 операций визуального контроля. И все же огромное количество готовых пластин идет в брак. Только при замене глаз более надежным, точным, неуста-ющим, а значит — автоматическим контролером можно «обеспечить создание и выпуск новых видов" приборов и радиоэлектронной аппаратуры, основанных на широком применении микроэлектроники...» — как записано в «Основных направлениях развития народного хозяйства СССР на 1976—1980 годы».

42