Юный техник 1983-06, страница 7
Желтым цветом нарисовано жесткое колесо волновой передачи. Красным — гибкое. Внутри гибкого колеса бегунок. микронную точность. Да, это уже была не модель, а самый настоящий робот! А если говорить точнее — его основная часть. Вспомним: при изготовлении микросхем детали поочередно напыляют через специальные маски, на которых, условно говоря, разрисована вся «география» микросхемы — расположение транзисторов сопротивлений, диодов... Маски нужно подавать в строго определенной последовательности. Чтобы полностью автоматизировать изготовление микросхем, ученые решили установить маски на карусели — механизме, действительно похожем на детскую карусель. Но как заставить карусель вращаться! Если бы все происходило на воздухе, проблемы бы не существовало. Взяли электродвигатель, редук тор... В вакуумной камере двигатель не поставить по уже известным причинам. Пришлось думать, как передать на карусель вращение электродвигателя, установленного снаружи камеры. Для этого решили использовать волновую передачу. Часть ее — волновую муфту — вы можете смоделировать сами. Возьмите листок бумаги и склеите из него трубочку. Ваша модель готова. Сожмите конец трубочки двумя пальцами. Другой конец трубочки при этом сплющится, будто его тоже сжали, только с других боков. С какой стороны ни нажать, к другому концу трубочки деформация придет со сдвигом 90°. Теперь разрежьте трубочку пополам и соосно приклейте половинки по разные стороны листа бумаги. Казалось бы, теперь деформация передаваться не должна, но нет, перегородка ничуть не изменила свойства вашей модели. Точно так же стальная стенка камеры не мешает проникнуть внутрь деформациям настоящей, стальной волновой муфты. На конец внутренней части муфты, тот, что находится в вакууме, наварили зубья, как на шестеренку, и надели на него жесткое металлическое кольцо большего диаметра с такими же зубьями на внутренней поверхности. В наружный конец трубки вставили бегунок, как показано на рисунке. Бегунок слегка распирает наружный конец трубки, а внутри камеры прошедшая сквозь ее стенку деформация прижимает зубья трубки к 5 |
