Техника - молодёжи 1975-10, страница 25
ситуация, в которую нас ставят конструкторы, вынуждает прибегать ко все более изощренной радиотехнике в ее схемной части, где все решает технология- После краткого экскурса в историю разработки радиотехнической космической аппаратуры началась лекция о современной технологии микрорадиоэлектроники с «практическими демонстрациями». В качестве экспоната «докладчик» предъявил маленький изящный значок — наверняка мечта коллекционеров и в то же время наиболее совершенный вид продукции современной технологии. — Последнее изделие! Гляньте — двенадцать прецизионных резисторов на одной подложке! — Надежность практически единица, мощность — 0,12 ватта, точность 0,1 %Ш (Предел удивления — ведь еще. недавно разброс в один процент по отношению к номиналу для сопротивлений считался верхом совершенства. А тут в десять раз лучше.) По сравнению с миниатюрными сопротивлениями MLT той же мощности легче в 12 раз. И то во многом за счет подложки, так как масса самих резисторов ничтожно мала. — Как же это достигается? — Чаще всего изготовляем сами. Подробности спросите у технологов. — Да. Почти все делаем сами, — подтверждает технолог. — Конечно, часть интегральных схем получаем от смежников, но многое родилось в этих стенах от идеи, возникшей у разработчика, до готового узла, прошедшего целый комплекс специальных испытаний. Вначале по техническому заданию выполняем комплект чертежей отдельных элементов радиосхемы. После этого выбираем метод, с помощью которого будет изготовлен, скажем, тонкопленочный резистор. Допустим, выбран наиболее популярный в наше время метод прилегающих масок — фотолитография. Сначала напыляем несколько слоев различных материалов, создавая специфический бисквит, состоящий из алюминия, кремния, нихрбма. Затем на верхний слой бисквита фотохимическим способом наносим рисунок — часть схемы. После проявления выбираем травитель, действующий только на первый слой. Это вещество удаляет материал верхнего слоя за исключением скрытого под рисунком. Первая операция закончена. Затем технологи опять наносят фотоэмульсию и точно таким же образом получают рисунок на материале второго слоя. Снова экспонируют, травят и так далее. Так в одном объеме, связанные электрически, появляются полупроводниковые лампы, емкости и со- 23 |
