Техника - молодёжи 1975-10, страница 26

противления (резисторы). Их габариты минимальны, они абсолютно надежны, так как защищены корпусом и обходятся лишь внутренними связями.

Ка.с это делаете!, можете посмотреть сами.

РЕПОРТАЖ

ИЗ «ХИРУРГИЧЕСКОЙ КЛИНИКИ» РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ

Образцом стерильности всегда считают хирур! ическую клинику. Специалг нал обувь и одежда, высокие потолки, идеальная чистота, кондиционеры, уловители пыли и тому подобный антупаж описан тысячекратно.

Но здесь, в цехе, где рождаются микросхемы, сравнение с клиникой было встречено дружным смехом.

— В тех ycnojHAX мы просто не сможем оаботать, — сказали мне — Чтобы наши схемы были надежными, воздух надо Очистить на два порядка, то есть в сто раз лучше, чем в хваленной вами клинике A TeMiiepaiypa и влажность вообще не имею* права изменяться! Приведем одну лишь цифру, чтобы вам все стало ясно. В литре воздуха обь-чно'о помещения содержи ся до 200 ООО пылинок. А по нашим требованиям число их не должно превышать 1SC0I

После этого предисловия я понимаю, что с обычными мерками здесь подходить нельзя И уже не удивг яюсь, что воздух этой сверх-стерильной комнаты еще и тщательно отделен от того, который находится внутри камер, где совершается таинс.во микротехнологии.

0.1ераци^ми, в результате которых появляется на свет одна маленькая схемка, заняты двадцать два человека (двадцать одна девушка и один мужчина). Я стараюсь не ме ша.ь им и в то же время хочу увидеть как мо» но болыие, и потому чувствую себя несколько стесненно Но, к счастью, вскоре убеждаюсь. что все люди здесь так увлечены делом, что не замечают никого и ничего вокруг.

За работой мастера своего деле, все равно хирург это или стеклодув, всегда интересно следить. Существует какое-то особое изящество и элегантность в тех не^тороп-ливых, уверенных движениях, ч_то проделывают оуки мастере

□от многослойная заготовка, которой сужден э в дальнейшем стать основой интегральной схемы, появляется в первом боксе. Сразу же ее захватывает >вакуумная присоска. Включен красный свет, закрутилась

центрифута, и капля фоторезиста растекается по поверхности металла. Толщина пленки задана вя; костью жидкости, скоростью и временем вращения. Весь технологический процесс идет под командой рело времени. Наконец, первая операция окончена. 3ai отовка поступает в ка -м»ру инфракрасной сушки. Затем следует очередная команда реле времени, и изделие через шлюз попадает в следующий блок. Здесь накладывается фотошаблон, и, опять-таки сообоазуясь с командой вездесущего реле времени, вступает в действие ультрафиолетовая засветка. Один миг — и «снимок» roi ов I

В дополнение следуют обычные фотооперации — проявление, когда вьутри герметичной установки заготовка вращается, подгергаясь равномерному действию проявителя, потом дубление, которое обычные фо ографы назьпают закреплением. За дублением идет термодубление — им занимаются инфракрасные лучи, нагре-иая поверхность заготовки до 150°С. После этой операции фстослою уже ничего не страшно- Даже всемогущая плаиико-вая кислота, перед которой пасуют дра-оценные металлы, ничего не в состоянии сделать.

Но остатки первого слоя, не защищенные пленкой фотооезиста, необходимо удалить. Их травят химическими смесями, промывают водой После сушки подложка, где появился первый рисунок, отходит на исходную позицию. Пора позаботиться о следующем слое, который ждет своей очереди.

Второй рисунок необходимо совместить с первым, для этого на заготовке есть опорно-реперные точки, а совмещение происходит с помощью микроскопа.

На одной подложке обычно помещается несколько различных по назначению резистооных соединений. Их затем расчленяют, вклеивают в корпус, а микросварщицы «разводят» с помощью золотой проволоки в 20—>0 микрон толщиной.

И вот, когда матрица практически ютова, наступает кульминация. На этой стадии работа всех, кто действовал раньше, може' быть зачеркнута одним невернмм движением руки техника, задача которого именуется «по/тонкой номинала»

Единственный мужчина в смене вооружен лазером, тончайший луч которого испаряет любые металлы, дажр самые тугоплавкие.

Подгон номинала <во всех отношениях самая ответственная операция Величина полученного сопротивления— резистора имеет право отличаться от заданного значения не более чем на одну десятую процента. Иначе брак!

Настройщик, так он имеиуеп я в

штатном расгисании, подсоединяем к очередному резистору сверхточный измерительный прибор — прс цизионный мост, прикидывая, сколько ударов лазера ему потребуется, чтобы подогнать сопоотиьпение к номиналу.

И вот работа началась.

Вспышка, удар лазерного луча, и тысячная доля сопротивления пропала, испарилась, ушла в пространство

Один, другой, третий резисторы подвергаются этой ювелирной операции. Мне показалось, что минимум час или два занимался настройщик своей лазерной хирургией, но прошло лишь пятнадцат! минут, отведенных графиком.

А затем он встал, отодвинул стул и приступил к физкультурным упражнениям, что, однако, ни у кого в комнате не вызвало удивления (кроме меня, конечно!)

— Это что же входит в его обязанности? — спрашиваю я.

— - Да, — отвечают мне без тени улыбки. — Даже более того, невыполнение рабочим этого пункта графика оассматриваетгя администрацией как серьезное нарушение трудовой дисциплины со всеми вытекающими из этого последствиями Да и комплекс упражнений специально разработан для настройщика с полным и всес стэочним учетом профессиональных особенностей его деятельности. Пятнадцать минут работы, несколько минут физических Упражнений, после котормх небольшой отдых. Иначе нельзя.

Тем jpeMeHeM передышка кончилась, и настройщик снова сел на свое место, намечая очередную жертву для лазерного удара.

А по воздушному конвейеру, пеоеходя от одного бокса к другому, неторопливо движутся многослойные металлические заготовки, которым предстоит стать частью сложнеГших приборов.

Сколько их пропло 'в ОКБ, трудно сосчитать. И каждая последующая работа всегда оказывалась хитрее, умнее и прихотливее предыдущей. Но побед было м.юго. И шумных, о ко.орь.х писала пресса, и тихих, ведомых лишь узкому кругу специалистов.

Последняя победа общеизвестна

Экипаж «Салюта-4» благополучно поиземлился, закончив свою многодневную и многотрудную научную работу

«Спектр» и «Эмиссия» — два вида исследований, два комплекта приборов, вызвавших наибольший интерес ученых 'и доставивших самые тяжелые испьпания разработ чик^м и конструкторам.

— Задача была поставлена предельно четко, — говорит В. Самой-ленко, ведущий инженер ОКБ ИКИ. — Для аэрофиэики и аэронавтики необходимо знал

24