Юный техник 1963-02, страница 43

перь в смесь кислот, то на пластине появятся ямки и выступы, размеры которых соответствуют размерам «островков» за-дублениого полимера. Этот процесс, напоминающий обычную фотографию, называется фотолитографией

С помощью фотолитографии можно выдержать размеры получаемых лунок и выступов с точностью до нескольких микрон. А это значит, что можно создавать блоки — твердые схемы с одинаковыми электрическими свойствами, то есть делать их взаимозаменяемыми.

РАДИОДЕТАЛИ ИЗ... ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Как же можно создать радиосхемы в кусочке полупроводнь кового материала? Ведь обычная схема содержит конденсаторы, сопротивления, индуктивные элементы и, наконец, радиолампы! Каким же образом можно разместить эти детали в кусочке полупроводника, к тому же еще таких маленьких раз меров? Ответ на этот вопрос дает современная физика.

Самым простым элементом схем является сопротивление. Для его создания необходимо взять кусочек германия или кремния правильных геометрических размеров и создать на двух про тивоположных концах омические контакты. Величину сопро тивления можно изменять за счет изменения геометрических размеров или количеством примесей, введенных в полупроводник. Введение примесей в твердый кусочек полупроводника осуществляется с помощью хорошо известного процесса диф фузии. Причем чем больше примесей будет введено, тем мень ше будет сопротивление.

Емкость создается двумя способами. Первый способ мало от личается от способа создания обычных конденсаторов. Кусочек кремния окисляется кислородом воздуха при высокой температуре. При этом на'его поверхности образуется гонкая прочная пленка кварца. На пленку наносится слой металла, а к металлу припаивается контакт. Величина емкости элемента зависит от толщины пленки и от площади рабочей части. Второй способ создания емкости основан на том, что в одном и том же кусочке кремния можно создать с помощью диффузии разных элементов две области: область, в которой электрический ток переносится положительными зарядами, и область, в которой перенос тока идет за счет отрицательных зарядов. На границе двух таких областей образуется двойной электрический слой, то есть слой, состоящий из неподвижных положительных зарядов и таких же отрицательных зарядов. Это устройство очень напоминает конденсатор, состоящий из двух противоположно заряженных пластин, и может быть успешно использовано в качестве емкости.

Создание полупроводниковых диодов и триодов не представляет особого груда, так как технология их изготовления известна уже более пятнадцати лет Единственный элемент, который не получен в объеме полупроводникового материала, — это индуктивность, но в настоящее время ученые и инженеры интенсивно работают над этой проблемой. Однако в целом ряде радиотехнических схем индуктивности не нужны, и эти схемы можно смело делать на основе полупроводниковых материалов.

3*

ЗБ