Юный техник 1993-10, страница 8

Схема атомного тоннельного микроскопа, на основе которого действует атомная сборка. Керамическая пьезотрубка при подаче на нее напряжения меняет свои размеры, перемещая иглу на нанометры. Меняя напряжение на самой игле, можно с поверхности поштучно захватывать атомы.

отверстия. Если просунуть в такое отверстие руку, она очутится в перчатке с присоской. Вот этой присоской и можно брать «нечто» — святое святых, что изготовляют здесь: маленькую блестящую пластинку. Когда подносишь ее к объективу микроскопа, находящегося рядом с рабочим местом, становится видно: поверхность пластинки покрыта тончайшим узором, по сравнению с которым тиснение на коже собственного пальца кажется грубым, словно рисунок на асфальте рядом с живописной миниатюрой искусного мастера.

Чтобы получить такой узор на подложке микросхемы — чипе,— приходится прибегать к разным технологическим хитростям. Одна из них — фотолитография.

Некоторое время назад узор на поверхности чипа наносится примерно

На схеме показаны три режима работы силового микроскопа: 1 — выравнивание поверхности; 2 — изготовление бугорков; 3 — выдавливание выемок.

так же, как фотолюбитель получает изображение на фотобумаге. Только вместо увеличителя применяют «уменьшитель» (изображение проецируется с таким расчетом, чтобы его размеры не увеличивались, а уменьшались), а заменителем фотобумаги служит подложка чипа с нанесенным на нее светочувствительным слоем. Дальше следует химобработка: травление, смытие светочувствительного слоя, сушка...

Вот она, «скатерть-самобранка»!