Юный техник 1976-01, страница 36

▲

На верхнем рисунке сфотографированы переплетения не фантастических растений. Под увеличением в 10 000 раз так выглядят поры обыкновенной бумаги. Обратите внимание на отверстия неправильной формы. А вот на нижнем рисунке отверстия, пробитые элементарными частицами в пластическом материале. Так ученые изготовляют настоящее сито для молекул.

▼

ми — микроны и даже доли микрон. Тонкий замысловатый узор схемы выполняется с помощью сложных физико-химических процессов — диффузии, вакуумного напыления проводящих материалов, химического травления. Мельчайшие инородные примеси, пылинки, даже микробы, попадая в схему, нарушают ее структуру. Брак в производстве микросхем, вызванный несовершенством технологии, немыслимо высок — в отходы идет порой до 90% исходного материала. Причем нет никакой гарантии, что даже каждая из признанных годными схем впоследствии не выйдет из строя. Попадет пылинка в схему, полежит в ней, а потом вдруг сдвинется и «закоротит» цепь.

Требования к чистоте материалов, применяемых в производстве микросхем, а также к чистоте производственной среды необычайно высоки. Вот характерный и довольно впечатляющий пример. Количество пыли на рабочем месте в цехе не должно превышать 4—5 пылинок на литр объема. В то же время сидящий без движения человек «излучает» в окружающее пространство около 5000 пылинок в минуту! Вот почему большое внимание в цехах уделяется одежде рабочих, а микросхемы в процессе изготовления многократно промываются водой, обдуваются сжатым воздухом.

Но и вода и воздух должны быть предельно чистыми. И здесь тоже пригодились ядерные фильтры. Они отсеивают примеси, пылинки, микробы — все, что могло бы нарушить нормальную работу микросхем. Применение ядерных фильтров для просеивания напыляемых материалов, очистки воздуха, фильтрации воды и химических реактивов сразу же увеличило выход качественной продукции в три-четыре раза. И это не предел.

Ю. ВЕРИН, инженер-физик

34