Юный техник 1982-07, страница 18

РОБОТ И МАНОМЕТР

«Мозг» современного робота — миниатюрная ЭВМ с огромной памятью. В его информационно-измерительной системе, той, что отвечает за «органы чувств», уже работают лазеры. Робот научился понимать человеческую речь... И, быть может, поэтому нам кажется порой, что роботы уже могут почти все и что увеличить их рабочие возможности может только какое-то новое научное открытие, еще более тонкое, чем те, которые положены в основу предыдущего поколения роботов. Но так ли это?

Например, на предприятии нужно решить такую задачу: на электронную микросхему нанести тонкую полупроводниковую пленку. Все зто должно происходить в глубоком вакууме, чтобы ни одна посторонняя микроскопиче-

16

екая частица не попала на подложку полупроводника. Иначе брак.

Ученые из Московского института электронного машиностроения решили поручить главную операцию роботу. Его механические руки должны перемещать j подложку в потоке напыляемых частиц. Все поначалу шло хорошо. Но вот заметили, что механическая рука стала со временем все труднее сгибаться в шарнирах, а качество полупроводников ухудшилось. Почему? Оказалось, рука стала плохо работать по вине... вакуума. В сильно разрежен- * ной атмосфере усилилось сцепление трущихся поверхностей, возросло трение, а значит, детали, из которых сделаны «суставы», стали быстрей изнашиваться, _в камере появились непрошеные j