Юный техник 1986-03, страница 20

вения отдает тепло соседним, оставшимся холодными областям. Отток тепла настолько быстр, что достигаются чрезвычайно высокие скорости перекристаллизации в поверхностном слое. Действуя таким образом, в поверхностном слое можно получить даже совершенно особую, аморфную, словно у стекла, структуру, которая согласно расчетам специалистов по прочности близка к теоретически предельной! Необычная закалка с помощью электронного пучка зачастую в несколько раз продлевает срок работы детали. Вот какой получается своеобразный мост между микро и макро!

Незаменимы электронные пучки для микроэлектроники. Только они способны напылять тончайшие металлические пленки с чистотой, недоступной всем другим способам. Решает дело вот какая особенность. Во всех довольно разнообразных способах нагрева тигель — сосуд, в котором заключен расплавленный металл,— сам не

избежно нагревается. И будь он сделан даже из самого тугоплавкого материала, все равно при нагреве больше или меньше микроскопических его частиц попадет в расплав. Какое-то загрязнение гарантировано. Ведь вспомним, что «грязью» в микроэлектронике считают даже несколько чужеродных атомов на миллиард своих. Новая технология в этом смысле идеальна. Электронный пучок мгновенно нагревает, расплавляет и испаряет поверхностный слой металла в тигле. Атомы металла, распыленного им, оседают в нужные части будущей микросхемы. Сам же тигель при этом может оставаться совершенно холодным. Для особой гарантии чистоты его можно дополнительно охлаждать, скажем водой. Согласитесь, в такое не сразу веришь: из тигля испаряют нагретые до нескольких тысяч градусов самые тугоплавкие, нелетучие соединения — окись алюминия, окись кремния, карбиды металлов, а сосуд, из которого их испаряют, остается холодным.

Но не только при получении интегральных схем микроэлектроники хорошо вакуумное (кстати, вакуум, естественно, необходим в новых технологических установках, когда требуется высокая чистота получаемых изделий) осаждение тончайших пленок. Для оптических приборов так получают просветляющие и светоотражающие покрытия, для ответственных деталей, работающих в химически агрессивных средах,— покрытия антикоррозионные.

Недавно сконструирован аппарат, где электронный пучок